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MKP大流量氣體質量流量控制器TSC-145
MKPrecision(株)自2004年成立以來,作為代表韓國的MFC先導企業,**了飛躍性的發展。通過國內(*)立的技術力,系統化,專業性地開發,制造,供應世,界領,先的較**半導體設備,主要產業用設備內**配件MFC,與韓國產業發展同步持續成長。另外,不安于現狀,為了全,球化,不斷擴大出口,向著全.球技術先導企業,向著全世.界拓展舞產品介紹:
VIC-D200 Series
因適用PTFE DISK,整個區間的回應時間快
對毒性和腐蝕性氣體的耐久性大幅增加
采用浪涌及耐電壓保護電路
通過溫度補正,在周圍溫度變化下也可維持準確度
產品配置
流量范圍(N2 標準):50~200slm
流量控制范圍:滿量程的2 ~ 100
準確度:滿量程的≤ ± 1%
回應時間:≤ 1.0 sec (10 ~ 100)
線性:滿量程的≤ ± 0.2%
運轉原理;熱式
控制閥形式:Normally Closed Solenoid
密封種類:Elastomer (Viton, Viton-ETP , Kalrez, etc.)
輸入輸出信號:模擬性: 0 ~ 5Vdc or 4 ~ 20mA
數字型: RS-4*5(Optional : DeviceNet, EtherCat)
電源供應:+15VDC ~ +24VDC
運轉溫度;5 ~ 50℃ (建議溫度范圍: 15 ~ 35℃)
連接器;Standard : D-SUB 9 pin Male
Optional : DeviceNet Micro style Connector, RJ45
產品廣泛應用于半導體,顯示器,燃料電池,氣體產業等制造工程,為韓國的事業發展做出貢獻